帶磁控靶的金屬鍍膜裝置MSP-mini的使用優(yōu)勢(shì)

發(fā)布日期：2022-11-30      瀏覽次數(shù)：710

帶磁控靶的金屬鍍膜裝置MSP-mini的使用優(yōu)勢(shì)



產(chǎn)品特點(diǎn)

●用一個(gè)按鈕自動(dòng)涂層。沒有任何繁瑣的操作。

●去除所有贅肉的高性價(jià)比機(jī)。我是MSP-1S的弟弟。

●小型目標(biāo)（φ30mm）。實(shí)現(xiàn)低運(yùn)行成本。

●標(biāo)準(zhǔn)附帶Au靶。在桌上SEM的預(yù)處理中發(fā)揮實(shí)力。

●可選靶Ag膜光澤優(yōu)良，透明材料表面的光學(xué)顯微鏡觀察

使揣測變得容易。

●低施加電壓下離子損傷

產(chǎn)品檢測優(yōu)勢(shì)

本設(shè)備是一種帶磁控靶的金屬鍍膜設(shè)備。當(dāng)用光學(xué)顯微鏡（Ag 靶）觀察透明材料的表面或用電子顯微鏡（Au/Ag 靶）在少量樣品上涂導(dǎo)電膜時(shí)使用。

★MSP-mini是桌上SEM觀察·光學(xué)顯微鏡用離子濺射成膜裝置。

★為了將小面積的試樣涂布時(shí)的浪費(fèi)最小化，小面積靶（φ30mm）。

★樣品臺(tái)是直接放置滑動(dòng)玻璃的平面樣品臺(tái)。

★低電壓涂層，即使是敏感的樣品也幾乎沒有樣品損傷。

★用1個(gè)按鈕全自動(dòng)進(jìn)行排氣、涂層、泄漏。

★目標(biāo)金屬是金（Au）標(biāo)準(zhǔn)?？蛇x的銀。

★排氣系統(tǒng)采用外置RP5升/min。

★使用輔助試料臺(tái)（可選），可提高涂布率，提高效率可以成膜。