日本東麗toray用于半導體/液晶/電子元器件的氧氣計介紹

發(fā)布日期：2021-04-15      瀏覽次數(shù)：1478

日本東麗toray用于半導體/液晶/電子元器件的氧氣計介紹

MS-500，LC-450A，LC-450D，LC-860



氧氣表MS-500

• 多可以同時測量8個點
• 可以顯示從ppm級到100的多種濃度。
• 非常適合安裝在半導體制造設備，真空設備等上。
• 傳感器是直接插入型（用于真空16/25/40的NW法蘭）
• 特殊涂層應用于高度耐用的傳感器，以進一步提高耐用性。

氧氣計LC-450A，LC-450D

• 可以顯示很寬的濃度范圍，從測量到的濃度范圍內的ppm水平到100。
• 改進的傳感器耐用性
  氧氣傳感器經過特殊處理，以提高其耐用性。
• 交流寬電源AC100-240VAC（LC-450A）
  * LC-450D由24V DC驅動
• 緊湊且易于安裝
  深度比我們的傳統(tǒng)型號還要短，并且不會占用太多空間。
• 符合RoHS指令的產品
• CE標志自我聲明產品
  EN61010-1：2002，EN61326：+ A3：2003

氧氣計LC-860

• 低濃度測量
  可以測量ppb到100
• 易于操作
  通過功能按鍵即可輕松進行操作
• 吹掃功能
  比較氣體更穩(wěn)定，測量更精確（僅適用于具有吹掃功能的規(guī)格）。
• 高可靠性傳感器傳感器
  內部還可以進行防劣化處理（可選）